Prinsi icp-oes Sampel dalam bentuk larutan dibawa ke plasma oleh carier gas (argon) meleati nebulizer (cairan menjadi aerosol) dan spray chamber (mentransportasikan aerosol ke plasma, mengalami volatisasi, sehingga terbentuk aerosol kering yang sudah seragam). Sampel masuk ke plasma diberi energi berupa panas, sehingga logam-logam dalam sampel tidak hanya teratomisasi tapi juga terionisasi, tereksitasi ke beberapa macam orbital electron secara serentak (dari keadaan dasar ke tingkat yang lebih tinggi energinya). Electron-elektron tersebut kembali ke keadaan dasar dengan memancarkan energi yang berupa sinar dengan memancarkan Panjang gelombang tertentu. Sinar yang dipancarkan tadi masuk ke dalam spectrometer (monokromator dan detector), monokromator memisahkan panjang gelombang yang spesifik, diteruskan ke detector diubah menjadi sinyal listrik dan masuk ke dalam integrator untuk diubah ke dalam system pembacaan data. Dimana intensitas energi yang dipancarka sebanding dengan jumlah (konsentrasi) sampel.