Su Tien Trien Cua Mems

DÞch tõ :” progress in MEMS and micro system rersearch” Chang Liu Micro and Nanotechnology Laboratory 208 N. Wright Street Urbana, IL 61821 Phone: 217-333-4051 Fax: 217-244-6375 Email: [email protected]

C«ng nghÖ MEMS ® c¸ch m¹ng ho¸ lÜnh vùc vi chÕ t¹o, vµ c¸c ngµnh

c«ng nghiÖp c¶m biÕn vµ chÊp hµnh ( actuator). Tr×nh ®é ph¸t triÓn cña c¸c

øng dông MEMS sö dông vËt liÖu gèm hiÖn nay ® ®¹t ®Õn ®©u ? Nh÷ng xu h−íng ph¸t triÓn chÝnh trong lÜnh vùc MEMS trong t−¬ng lai lµ g× ?...

C«ng nghÖ m¹ch tÝch hîp sÏ lµ ®iÓm khëi ®Çu trong buæi th¶o luËn vÒ

lÞch sö MEMS nµy. N¨m 1971, chip tiªn tiÕn lóc bÊy giê Intel 4004 cã 2250 transistor. Bé vi xö lý 286 vµ Pentium III ®−îc tÝch hîp 120.000 vµ 24 triÖu transistor t−¬ng øng. C«ng nghÖ IC ph¸t triÓn víi tèc ®é m nh liÖt Ýt thÊy ë

c¸c lÜnh vùc kh¸c. MËt ®é transistor t¨ng gÊp hai lÇn sau mçi 12 ®Õn 18

th¸ng theo qui luËt Moore ®−îc rót ra tõ sù quan s¸t cña Gordon Moore, mét ®ång s¸ng lËp viªn cña c«ng ty Intel. §©y lµ mét sù thµnh c«ng ®¸ng ghi nhËn nhê vµo sù khÐo lÐo vµ lßng quyÕt t©m bëi v× vµi thËp kû tr−íc, cã

nh÷ng lóc ng−êi ta ® lo l¾ng vÒ tÝnh ®óng ®¾n cña quy luËt Moore khi kü thuËt ®i ®Õn c¸c giíi h¹n cña c¸c quy luËt vËt lý vµ kü thuËt t¹i thêi ®iÓm ®ã.

C«ng nghÖ vi c¬ lµ ®éng c¬ ®»ng sau sù tÝch hîp chøc n¨ng vµ sù thu

nhá trong lÜnh vùc ®iÖn tö häc. Vµo thêi kú ®Çu nh÷ng n¨m 60 ®Õn gi÷a nh÷ng n¨m 80 c«ng nghÖ chÕ t¹o m¹ch tÝch hîp nhanh chãng ®−îc hoµn thiÖn sau nhiÒu thËp kû nghiªn cøu, khëi ®Çu tõ sau khi chiÕc transistor ®Çu tiªn ra ®êi.

NhiÒu thµnh c«ng trong khoa häc vµ kü thuËt ngµy nay kh«ng thÓ cã

nÕu kh«ng cã nh÷ng b−íc tiÕn v−ît bËc trong c«ng nghÖ vi c¬ vµ sù thu nhá .

C¸c b−íc tiÕn ®ã bao gåm sù ph¸t triÓn theo hµm sè mò cña viÖc sö dông

m¸y vi tÝnh vµ internet, ®iÖn tho¹i tÕ bµo vµ chôp ¶nh kü thuËt sè ( chôp ¶nh,

l−u tr÷, xö lý vµ hiÓn thÞ trªn mµn h×nh), hiÓn thÞ b»ng mµn h×nh ph¼ng, ti vi plasma, « t« tiÕt kiÖm n¨ng l−îng vµ gi¶i m bé gien ng−êi ( gåm 3 tû cÆp )

. LÜnh vùc MEMS còng bao gåm c¶ c«ng nghiÖp m¹ch tÝch hîp. Sù

ph¸t sinh cña lÜnh vùc MEMS lµ kÐo dµi trong kho¶ng 2 thËp kû ( kho¶ng

nh÷ng n¨m 1960 ®Õn nh÷ng n¨m 1980), khi mµ nhiÒu ho¹t ®éng nghiªn cøu diÔn ra r¶i r¸c kh¾p n¬i. VÝ dô, c«ng nghÖ ¨n mßn Silic dÞ h−íng ®−îc kh¸m ph¸ khi ®−îc dïng ®Ó t¹o c¸c cÊu tróc ba chiÒu trªn ®Õ Silic ph¼ng. Vµi nhµ nghiªn cøu tiªn phong trong c¸c phßng thÝ nghiÖm c«ng nghiÖp vµ trong c¸c

tr−êng ®¹i häc ® sö dông c«ng nghÖ xö lý m¹ch tÝch hîp ®Ó chÕ t¹o c¸c linh kiÖn vi c¬ bao gåm c¸c cantilever, mµng, ®Çu phun mùc. Nh÷ng c¶m biÕn vi

c¬ chñ yÕu, bao gåm c¶m biÕn ¸p trë lµm b»ng Silic ®¬n tinh thÓ vµ ®a tinh

thÓ ® ®−îc ph¸t hiÖn, nghiªn cøu vµ tèi −u ho¸. T¹i giai ®o¹n nµy tªn cña lÜnh vùc nµy ch−a ®−îc t¹o ra. Tuy nhiªn, c¸c c«ng nghÖ vi c¬ khèi vµ vi c¬ bÒ mÆt lóc nµy ®ang ®−îc hoµn thiÖn nhanh chãng.

Cã mét sè c«ng tr×nh ®Çu tiªn ®¸ng chó ý . Vµo n¨m 1967, Harvey

Nathason ë Westinghouse ® giíi thiÖu mét kiÓu transistor, gäi lµ transistor

cæng céng h−ëng ( RGT). Kh«ng gièng c¸c transistor kh¸c, cùc cæng cña RGT kh«ng ®−îc cè ®Þnh vµo líp «xit cùc cæng mµ cã thÓ dÞch chuyÓn ®−îc so víi ®Õ. Kho¶ng c¸ch gi÷a ®Õ vµ cùc cæng ®−îc ®iÒu khiÓn bëi lùc hót tÜnh ®iÖn. RGT lµ bé chÊp hµnh tÜnh ®iÖn ®Çu tiªn ®−îc chÕ t¹o.

Vµo nh÷ng n¨m 1970, Kurt Petersen ë phßng thÝ nghiÖm nghiªn cøu

cña h ng IBM, cïng víi c¸c ®ång nghiÖp, ® ph¸t triÓn c¸c sensor ¸p suÊt kiÓu Diaphragm b»ng c«ng nghÖ vi c¬ trªn vËt liÖu Silic. C¸c Diaphragm Silic máng cã g¾n c¶m biÕn ¸p trë ®−îc chÕ t¹o b»ng c«ng nghÖ vi c¬ khèi.

Diaphragm biÕn d¹ng khi cã ¸p suÊt bªn ngoµi t¸c ®éng, g©y ra øng suÊt c¬ ®−îc c¶m nhËn bëi c¶m biÕn ¸p trë. Diaphragm mµng máng cã thÓ biÕn d¹ng

lín h¬n víi cïng mét l−îng thay ®æi nhá cña ¸p suÊt, do ®ã cã ®é nh¹y lãn

h¬n so víi c¸c c¶m biÕn ¸p suÊt mµng truyÒn thèng . C¸c c¶m biÕn ®−îc chÕ t¹o theo tõng mÎ nhê vËy cã thÓ t¹o ra tÝnh ®ång nhÊt vÒ cÊu tróc vµ ho¹t

®éng trong khi gióp gi¶m gi¸ thµnh s¶n xuÊt. C¸c c¶m biÕn ¸p suÊt ®−îc øng dông trong ®o huyÕt ¸p vµ ®iÒu khiÓn c«ng nghiÖp ® ®em l¹i thµnh c«ng trong lÜnh vùc th−¬ng m¹i ®Çu tiªn cña lÜnh MEMS.

Ngµy nay, c¸c c¶m biÕn ¸p suÊt ®−îc chÕ t¹o víi nhiÒu cÊu tróc ®a

d¹ng vµ b»ng nhiÒu ph−¬ng ph¸p kh¸c nhau. C¸c c¶m biÕn nµy cã thÓ lµ kiÓu

tô, ¸p trë, ¸p ®iÖn, céng h−ëng ®iÖn, hay quang häc. C¸c dÆc ®iÓm tiªn tiÕn

cho c¶m biÕn ¸p suÊt tÝch hîp bao gåm viÖc hót ch©n kh«ng trong cÊu tróc ®Ó ®o ¸p suÊt tuyÖt ®èi, liªn kÕt ®o ®¹c tõ xa ®−îc tÝch hîp, ®iÒu khiÓn m¹ch

kÝn, kh«ng nh¹y víi c¸c chÊt g©y « nhiÔm, t−¬ng thÝch sinh häc ®Ó tÝch hîp vµo c¸c thiÕt bÞ vi sinh, vµ viÖc sö dông c¸c vËt liÖu mµng phi silic ( nh− gèm vµ kim c−¬ng) ®Ó lµm viÖc trong c¸c vïng kh¾c nghiÖt vµ nhiÖt ®é cao.

C¸c m¸y in phun cã gi¸ thµnh thÊp h¬n so víi in laser vµ ngµy nay cã

thÓ in Ên víi hiÖu suÊt cao víi chÊt l−îng in mµu ® cã thÓ chÊp nhËn ®−îc. H ng Canon ® ph¸t minh ra kü thuËt in phun víi bé phËn bong bãng nhiÖt,

trong khi ®ã h ng Hewlett-Package l¹i ®i tiªn phong trong viÖc chÕ t¹o ®Çu

phun mùc m¸y in b»ng c«ng nghÖ vi c¬ silic vµo n¨m 1978. Hµng d y c¸c ®Çu phun mùc ®Èy ra c¸c giät mùc ( ‘ r¬i khi cã lÖnh’) khi cã sù gi n në cña

c¸c khèi láng bëi c¸c bong bãng nhiÖt ( h×nh 1). Sù co l¹i cña c¸c bong bãng nhiÖt sÏ rót nhiÒu mùc h¬n vµo c¸c lç hæng ®Ó gi÷ cho nh÷ng lÇn phun sau.

In mµu ®−îc tiÕn hµnh b»ng c¸ch phun c¸c lo¹i mùc cã mµu c¬ b¶n - lôc nam, tÝm vµ vµng ( CMY).

H×nh 1. §Çu in phun chÕ t¹o b»ng c«ng nghÖ vi c¬. H×nh bªn tr¸i : chip cña m¸y in phun víi c¸c ®Çu phun láng. H×nh gi÷a vµ ph¶i : chôp gÇn mét ®Çu may in phun th−¬ng m¹i, vµ chip silic bao gåm nhiÒu ®Çu phun. C¸c m¹ch tÝch hîp ®iÒu khiÓn viÖc phun mùc.

C«ng nghÖ vi c¬ silic ®ãng vai trß then chèt trong c«ng nghÖ in phun.

Sö dông c«ng nghÖ vi c¬ silic cã thÓ ®−îc chÕ t¹o v« cïng nhá vµ d−îc s¾p xÕp dµy ®Æc, mét ®Æc ®iÓm quan träng ®Ó cã ®−îc ®é ph©n gi¶i vµ sù t−¬ng

ph¶n cao. C¸c lç cã thÓ tÝch nhá víi c¸c bé gia nhiÖt t−¬ng ®èi nhá, ®ång nghÜa víi sù t¨ng gi¶m nhiÖt ®é nhanh chãng, cho phÐp ®¹t ®−îc tèc ®é in

phun ®¸ng kÓ. Vµo n¨m 1995, sè l−îng c¸c ®Çu phun mùc trong mét cartridge t¨ng lªn ®Õn 300, trong khi khèi l−îng mét giät mùc chØ lµ 40 ng.

Vµo n¨m 2004, c¸c ®Çu phun mùc ®−îc chÕ t¹o dùa trªn c¸c nguyªn lý ®a d¹ng, bao gåm hiÖu øng nhiÖt, ¸p ®iÖn vµ c¸c lùc tÜnh ®iÖn. ThÓ tÝch cña mçi giät mùc lµ 10 pl vµ ®é ph©n gi¶i ®¹t ®−îc lµ 1000 dpi.

Ngµy nay, m¸y in phun cã thÓ cã triÓn väng so s¸nh ®−îc víi m¸y in

laser. C¸c m¸y in phun th−êng rÎ h¬n m¸y in laser mÆc dï viÖc thay thÕ

cartridge khiÕn cho m¸y in phun ®¾t h¬n khi sö dông trong thêi gian dµi.

C«ng nghÖ in phun ®ang ®−îc dïng ®Ó in v¨n b¶n vµ in ¶nh. Giê ®©y nã cßn ®−îc dïng ®Ó l¾ng ®äng c¸c hîp chÊt h÷u c¬, c¸c bé phËn cña transistor h÷u c¬, vµ c¸c ph©n tö sinh häc ( nh− t¹o c¸c ®o¹n ph©n tö DNA ).

Vµo cuèi nh÷ng n¨m 1980, c¸c nhµ nghiªn cøu trong lÜnh vùc míi n¶y

sinh, gäi lµ c«ng nghÖ vi c¬, chñ yÕu sö dông vËt liÖu silic - hoÆc lµ ®Õ silic

khèi ( silic ®¬n tinh thÓ) hoÆc lµ silic mµng máng ( silic ®a tinh thÓ). Hai

d¹ng silic nµy ® s½n sµng ®−îc tiÕp cËn v× chóng ®−îc ®−îc sö dông phæ biÕn trong ngµnh c«ng nghiÖp m¹ch tÝch hîp – silic khèi ®−îc sö dông lµm

®Õ m¹ch ®iÖn, trong khi ®ã silic ®a tinh thÓ ®−îc dïng ®Ó lµm cùc cæng cña transistor.Vµo n¨m 1984, Petersen ® cho xuÊt b¶n tê b¸o nhan ®Ò “ Silic lµ

mét vËt liÖu c¬”. Tê b¸o ® vµ ®ang ®−îc trÝch dÉn réng r I khi mµ ngµnh nµy më réng nhanh chãng.

ViÖc sö dông silic mµng máng ® cho phÐp chÕ t¹o c¸c c¬ cÊu vi c¬ bÒ

mÆt bao gåm c¸c lß xo, c¸c bé truyÒn ®éng trong hép sè … Vµo n¨m 1989,

chiÕc ®éng c¬ vi c¬ bÒ mÆt b»ng silic ®−îc ®iÒu khiÓn b»ng lùc tÜnh ®iÖn

®−ùoc giíi thiÖu lÇn ®Çu tiªn bëi c¸c nhµ nghiªn cøu ë tr−êng ®¹i häc Califorlia ë Berkely. Mét ®éng c¬ b»ng silic ®a tinh thÓ cã ®−êng kÝnh nhá

h¬n 150 µm vµ bÒ dµy 1 µm ® cã thÓ quay víi vËn tèc tèi ®a lµ 500

vßng/phót b»ng ®iÖn ¸p ®iÒu khiÓn ba pha 350V. MÆc dï cã kh¶ n¨ng øng dông giíi h¹n t¹i thêi ®iÓm ®ã nh−ng ®éng c¬ nµy ® g©y ra sù phÊn khÝch

cho céng ®ång khoa häc réng r i vµ nh÷ng ng−êi d©n b×nh th−êng ®èi víi MEMS. C¸c ®éng c¬ quay vi c¬ dùa trªn nhiÒu nguyªn lý ho¹t ®éng kh¸c nhau, víi d¶i kÝch th−íc lín h¬n ( thËm chÝ tíi cì nanomÐt), víi m«men xo¾n vµ n¨ng l−îng thu ®−îc lín h¬n ® ®−îc giíi thiÖu kÓ tõ ®ã.

Mét vµi n¨m sau, côm tõ hÖ thèng vi c¬ ®iÖn tö - MEMS ® ®−îc

giíi thiÖu. Nã dÇn dÇn trë thµnh mét c¸i tªn ®−îc ®−îc quèc tÕ thõa nhËn ®Ó chØ lÜnh vùc nµy. Tªn nµy bao hµm c¸c yÕu tè kÝch th−íc ( micro), thùc tiÔn (

tÝch hîp c¬-®iÖn) vµ kh¸t väng ( hÖ thèng) cña lÜnh vùc míi nµy. Cã hai yÕu tè tinh tÕ th−êng v−ît qu¸ sù hiÓu biÕt cña c¸c b¹n ®äc míi b¾t ®Çu. NhiÒu

kÕt qu¶ vµ s¶n phÈm nghiªn cøu cña céng nghÖ MEMS lµ nh÷ng bé phËn

thùc sù cña mét hÖ thèng lín h¬n. Côm tõ ®ã bao gåm c¶ c¸ch chÕ t¹o ®Æc tr−ng vµ ph−¬ng h−íng chÕ t¹o ( vi chÕ t¹o ), vµ cÊu tróc míi cña thiÕt bÞ vµ s¶n phÈm.

Vµo nh÷ng n¨m 90 cña thÕ kû XX, MEMS b−íc vµo mét giai ®o¹n

t¨ng tr−ëng nhanh vµ ®éng trªn toµn thÕ giíi. C¸c c«ng ty t− nh©n vµ nhµ n−íc trªn toµn thÕ giíi tµi trî vµ hç trî cho c¸c ho¹t ®éng nghiªn cøu tËp trung. C¸c nç lùc nghiªn cøu cña nh÷ng ng−êi ®i tiªn phong ® cho kÕt qu¶.

Nh÷ng kÕt qu¶ ®¸ng chó ý ®Çu tiªn bao gåm c¸c c¶m biÕn qu¸n tÝnh tÝch hîp cña h ng Analog Devices ®−îc øng dông trong c¸c tói khÝ tù ®éng ( c¶m biÕn gia tèc - NVM) vµ chip xö lý tÝn hiÖu quang kü thuËt sè cña h ng Texas

Instruments trong m¸y chiÕu ( c¸c g−¬ng vi c¬). Hai øng dông nµy sÏ ®−îc th¶o luËn d−íi ®©y. ...

Bªn c¹nh c¶m biÕn gia tèc vµ g−¬ng vi c¬ kü thuËt sè, nhiÒu lo¹i c¶m

biÕn kh¸c ® ®−îc nghiªn cøu chÕ t¹o vµo nh÷ng n¨m 90 thÕ kû XX, víi nhiÒu møc ®é thi hµnh kh¸c nhau trong c«ng nghiÖp.

LÜnh vùc c«ng nghiÖp MEMS ® tr¶i qua nhiÒu thay ®æi ®¸ng kinh

ng¹c trong vµi n¨m võa råi. Trong sè ®ã, nh÷ng xu h−íng quan träng lµ : (1)

(2)

C«ng nghÖ MEMS ®ang ®−îc kÕt hîp víi c«ng nghÖ nano vµ c«ng nghÖ y sinh ®Ó t¹o ra c¸c lo¹i s¶n phÈm míi ®−îc sö dông vµo c¸c øng dông míi.

C«ng nghÖ MEMS ®ang tho¸t khái t×nh tr¹ng chØ sö dông

vËt liÖu silic vµ b¸n dÉn. C¸c vËt liÖu polime ®ang ®−îc sö dông ngµy cµng nhiÒu.

Trong nh÷ng n¨m gÇn ®©y, c¸c kü thuËt vi c¬ silic dïng ngµy cµng

nhiÒu vËt liÖu vµ qu¸ tr×nh míi. Silic, mét vËt liÖu b¸n dÉn, vÒ mÆt c¬ häc lµ

rÊt gißn. VËt liÖu nµy còng rÊt ®¾t vµ kh«ng cÇn thiÕt trong mét sè øng dông

nµo ®ã. C¸c vËt liÖu míi nh− polime vµ c¸c hîp chÊt b¸n dÉn cã thÓ nÊp chç trèng ®ã.

C¸c vËt liÖu polime ®ang ®−îc sö dông ngµy cµng nhiÒu trong MEMS

v× nh÷ng tÝnh chÊt vËt liÖu ®éc nhÊt cña chóng ( vÝ dô nh− sù t−¬ng thÝch víi

sinh häc, trong suèt vÒ mÆt quan häc…), c¸c kü thuËt xö lý vµ gi¸ thµnh thÊp

so víi silic. C¸c vËt liÖu polime ®−îc t×m ra gÇn ®©y bao gåm c¸c chÊt ®µn

håi lµm tõ hîp chÊt h÷u c¬ cña silic, parylene, polyimide, trong sè c¸c lo¹i kh¸c.

RÊt nhiÒu c¶m biÕn vµ vi chÊp hµnh ®−îc cÇn ®Õn trong ®iÒu kiÖn

kh¾c nghiÖt, nh− bÞ chiÕu s¸ng trùc tiÕp bëi c¸c phÇn tö m«i tr−êng, nhiÖt ®é cao, nhiÖt ®é thay ®æi réng hoÆc ph¶i chÞu sãc lín. C¸c vi cÊu tróc silic máng

manh lµm tõ vËt liÖu silic vµ mµng máng v« c¬ kh«ng thÝch hîp cho c¸c øng

dông nh− vËy. Mét vµi vËt liÖu v« c¬ ®ang ®−îc giíi thiÖu cho c¸c øng dông MEMS trong c¸c m«I tr−êng kh¾c nghiÖt. Silic Cacbon, c¶ døoi d¹ng khèi vµ

mµng máng, ® ®−îc dïng trong c¸c øng dông cña ®iÖn tö chÊt r¾n vµ c¸c bé chuyÓn ®æi tÝn hiÖu trong ®iÒu kiÖn nhiÖt ®é cao. C¸c mµng máng kim c−¬ng

cã lîi thÕ lµ ®é dÉn ®iÖn lín, kh¶ n¨ng chÞu mµi mßn cao cã thÓ ®−îc dïng trong c¸c øng dông bao gåm c¶m biÕn ¸p suÊt vµ ®Çu mòi dß ®iÖn tö. C¸c vËt liÖu hîp chÊt b¸n dÉn kh¸c nh− GaAs còng ®ang ®−îc nghiªn cøu.

C¸c kü thuËt xö lý vËt liÖu míi ®ang ®−îc nghiªn cøu ®Ó chÕ t¹o trªn

c¶ c¸c ®Õ silic vµ c¸c vËt liÖu kh¸c. C¸c qui tr×nh xö lý míi cho MEMS bao

gåm ¨n mßn b»ng laser ®Ó c¾t gät vµ l¾ng ®äng vËt liÖu, quang kh¾c ba chiÒu

trong kh©u t¹o nguyªn mÉu, l¾ng ®äng c¬ ®iÖn ®Þa ph−¬ng, t¹o h×nh ®iÖnquang, ¨n mßn b»ng chïm ion kÝch ho¹t s©u tû sè c¹nh cao, ¨n mßn b»ng tia X, phãng vi ®iÖn, in vi tiÕp xóc, plasma néi, hµn c¬-®iÖn, gät ®iÖn-ho¸, tù s¾p

xÕp vµ tù dÞnh h−íng vµ s¾p xÕp cã h−íng dÉn thµnh c¸c cÊu tróc hai vµ ba chiÒu…

C¸c qui tr×nh vi chÕ t¹o ® ®−îc më réng sang lÜnh vùc NEMS, hÖ

thèng c¬-®iÖn nano. ViÖc chÕ t¹o mét c¸ch tiÕt kiÖm vµ tin cËy c¸c phÇn tö

c¬ ®iÖn víi kho¶ng c¸ch vµ kÝch th−íc nano ®ang gÆp nhiÒu th¸ch thøc vµ c¸c khã kh¨n vÒ ph−¬ng ph¸p. Ph−¬ng ph¸p kh¾c truyÒn thèng ch−a cho

phÐp ®¹t ®é ph©n gi¶i 100nm, víi gi¸ rÎ vµ tÝnh ®−¬ng. C¸c kü thuËt ®a d¹ng t¹o mÉu cã cÊu tróc nano, kh¸c rÊt nhiÒu so víi c¸ch tiÕp cËn quang kh¾c,

®ang ®−îc ph¸t triÓn trong céng ®ång hãa häc vµ vËt lý ®Ó t¹o mÉu cã kÝch th−íc nano. …

Cã ®iÒu ®¸ng chó ý lµ vËt liÖu vµ c«ng nghÖ chÕ t¹o trong lÜnh vùc vi

®iÖn tö ®Òu kh«ng dÉm ch©n t¹i chç. Trong thùc tÕ, kü thuËt quang kh¾c truyÒn thèng vµ vËt liÖu b¸n dÉn trong c¸c m¹ch tÝch häp ® tr¶I qua rÊt

nhiÒu thay ®æi trong thËp kû 80 thÕ kû XX. C¸c kü thuËt xñ lý míi ®ang tÝch

cùc theo ®uæi viÖc s¶n xuÊt nhanh c¸c m¹ch ®iÖn tö cã diÖn tÝch lín, c¸c m¸y

ph¸t ¸p-quang vµ c¸c bé hiÓn thÞ quang-®iÖn tö. C¸c vËt liÖu polime h÷u c¬

®ang ®−îc sö dông thay chç cho vËt liÖu b¸n dÉn trong c¸c m¹ch logic, l−u tr÷ vµ hiÓn thÞ quang.

T−¬ng lai cña vËt liÖu míi vµ ph−¬ng ph¸p chÕ t¹o míi lµ rÊt s¸ng sña

vµ phÊn khÝch. C¸c c«ng nghÖ chÕ t¹o vµ s¶n xuÊt nh− vi chÕ t¹o, chÕ t¹o

kÝch th−íc nano vµ vi ®iÖn tö vÒ mÆt lÞch sö ® ®−îc ph¸t triÓn trong c¸c

céng ®ång kh¸c nhau mét c¸ch ®éc lËp, trªn c¸c lo¹i vËt liÖu vµ ®Õ kh¸c

nhau. Khi khoa häc vµ c«ng nghÖ tiÕn triÓn theo h−íng kÝch th−íc micro vµ

nano, nh÷ng céng ®ång riªng biÖt víi c¸c ph−¬ng ph¸p chÕ t¹o kh¸c nhau nµy sÏ liªn kÕt vµ phèi hîp víi nhau ®Ó t¹o ra c¸c ph−¬ng ph¸p chÕ t¹o míi

vµ tèt h¬n cho phÐp h×nh thµnh c¸c h−íng nghiªn cøu khoa häc míi vµ c¸c thiÕt bÞ míi./.